Elektronica en fotovoltaïsche energie

Met onze waterexpertise ondersteunen we alle professionals in het micro-elektronica ecosysteem.

Een constante toevoer van kwaliteitswater is cruciaal voor de micro-elektronica industrie. Kwaliteit, kwantiteit en continuïteit zijn prioriteiten in onze waterdiensten.

 

Beheer en innovatie: uitdagingen voor de elektronische en fotovoltaïsche industrie

Constant innovation - Chemical industry

Geavanceerde en innovatieve technologieën die ultrapuur water produceren.

Water recovery picto

Afvalwaterbehandeling, terugwinning en waterrecycling en hergebruik.

 

Electronics and photovoltaics icon

Beter beheer van grondstoffen en het behoud van water.

Hoe Veolia elektronische en fotovoltaïsche klanten helpt 

De fabricage van halfgeleiders omvat verschillende stappen van fotografische en chemische verwerking, waarbij elektronische schakelingen geleidelijk worden gemaakt op wafers van puur halfgeleidend materiaal. De upstream productie van silicium wafers - van het kweken van ingots tot het snijden en polijsten van wafers - is van cruciaal belang voor de kwaliteit van de eindproducten en vereist een grote hoeveelheid water met een hoge zuiverheid.

 

Electronics and photovoltaics icon

Voor het vervaardigen van een geïntegreerde circuit op een wafer van 300 mm is in totaal circa 8.328 liter water nodig, waarvan 5.678 liter ultrapuur water.

Electronics and photovoltaics icon

De halfgeleiderindustrie geeft elk jaar ongeveer $ 2 miljard uit aan water- en afvalwaterbehandelingssystemen.

Bron: Global Water Intelligence (2009) Pure Water, Semiconductors and The Recession

 

Submarkten voor elektronica en micro-elektronica, zoals TFT-LCD, harde schijven, fotovoltaïsche apparaten en printplaten (PCB's) vereisen moderne en nauwkeurige watersystemen en afvalwateroplossingen. Dit is nodig omdat water de belangrijkste potentiële verontreinigingsbron is.

De creatie van een fotovoltaïsche module doorloopt bijvoorbeeld verschillende kritische stappen, waaronder de initiële raffinage van silicium, de kristallisatie en het vormen van de platen. Naast de injectie van grote hoeveelheden water tijdens deze voorbereidende fasen, speelt water ook een cruciale rol in het maken van cellen en de uiteindelijke montage van de modules.
 

Aanpasbare oplossingen voor alle elektronische en fotovoltaïsche spelers

Wasserkreislauf in der Mikroelektronik-Herstellung

 

Veolia Water Technologies beschikt over veel ervaring op het gebied van waterbehandeling en is in staat om al het water in een faciliteit te verwerken; van ultrapuur water tot afvalwater, van proceswater tot recycling en hergebruik.

Onze geavanceerde technologieën zijn ontworpen om de grote uitdagingen in het fabricageproces van halfgeleiders aan te gaan.

Ultrapuur waterbehandeling

Elk onderdeel in de productie moet gewassen zijn zodat het vrij is van verontreinigingen. Hiervoor is water van de hoogste zuiverheid - ultrapuur water - nodig tijdens vele stadia van het productieproces.

 

Reinstwasseraufbereitungs-Prozess in der Elektronikindustrie

Afvalwaterbehandeling

Afvalwaterstromen in de micro-elektronica industrie zijn doorgaans geconcentreerd met chemicaliën voor het etsen van koper, slijp- en blokjesslurry, net als TMAH/Ammoniak.

Hergebruik en recycling van water

Spoelwater, backgrinding en het fijnhakken van afvalwater zodat het afvalwater gerecycled en hergebruikt wordt, zorgt voor kostenefficiënte en duurzaamheid in de productielijn.

Betere opbrengst

Consistente ultrapure waterkwaliteit resulteert in een lager productafwijzingspercentage en een betere opbrengst voor onze micro-elektronica klanten.

We ondersteunen uw productie verder met onze tientallen jaren aan ervaring, een snelle responstijd en ondersteuning van onze experts in uw vakgebied, en 24/7 gegarandeerde onsite respons en mobiele noodoplossingen voor water.

Elektronische en fotovoltaïsche klanten die Veolia vertrouwen

 

Het ontwerp van een volledig waterbehandelingssysteem voor de Soitec wafelfabriek (SINGAPORE)
Veolia Water Technologies ontwierp en bouwde de ultrapure water- en afvalwaterzuiveringsinstallaties voor de Soitec wafelfabriek in Pasir Ris, Singapore.

We boden kosteneffectieve oplossingen door twee soorten water van een hoge kwaliteit te combineren en zorgden voor een constante, sterk gezuiverde en chemicaliënvrije oplossing door gebruik te maken van continue deïonisatietechnologieën.

 

Om het preductierendement te verbeteren is betrouwbaar ultrapuur water van de hoogste kwaliteit cruciaal voor de micro-elektronica industrie. Naast productiedoelen stellen spelers in deze industrie hoge doelen op het gebied van duurzame ontwikkeling en hun ecologische footprint. Compacte en efficiënte afvalwaterzuiveringsoplossingen in combinatie met duurzame, toekomstgerichte oplossingen voor het terugwinnen en recyclen van water helpen deze doelen te bereiken.

Mehbub Vakil khan picture

Mehbub KHAN

Market Manager, Power & Microelectronics, Singapore

Veolia Water Technologies

LinkedIn Profiel

 

Meer diensten voor onze elektronische en fotovoltaïsche klanten

Ons team biedt deïonisatiediensten, zodat u zich kan blijven concentreren op uw kernactiviteiten.
Een combinatie van digitale tools en Veolia expertise die al uw waterprocessen slimmer, veiliger en duurzamer maken.
Het leveren van waterhygiëne en chemische HydrexⓇ-oplossingen die de veiligheid en prestaties van waterbehandelingsapparatuur garanderen.

Downloads 

Download onze brochure voor meer informatie over duurzaam waterbeheer voor de micro-elektronica industrie. 

 

 

FAQ over wateroplossingen voor elektronische en fotovoltaïsche bedrijven

Wat is Environmental Social Governance (ESG) en waarom is het belangrijk voor de halfgeleiderindustrie?

Environmental Social Governance (ESG) gaat over deugdelijk ondernemerschap en de impact daarvan op sociale en duurzaamheidskwesties. Wanneer bedrijven ESG goed toepassen, bereiden ze zich voor op belangrijke uitdagingen zoals waterschaarste. Bedrijven passen ook ESG toe uit financieel oogpunt, omdat banken het steeds vaker als een investeringscriterium zien.

Wat zijn de essentiële behandelingsstappen voor de behandeling van ultrapuur water (UPW)?

Een ultrapuur water proces vereist doorgaans multimediafilters (MMF) en actieve koolfilters (ACF), omgekeerde osmose (RO), ontgassers, ionenuitwisseling en UV-behandeling.

Wat zijn de kenmerken van hoogwaardig ultrapuur water (UPW)?

In de elektronica- en halfgeleiderindustrie wordt de ASTM D5127 & SEMI F63 Guide voor ultrapuur water gebruikt. Daarvoor gelden de volgende aanbevolen normen:

Test ParameterGeavanceerde halfgeleider UPW
Weerstand (25 ℃)>18.18 MΩ-cm
Totaal Organische Koolstof (on-line for <10 ppb)<1 μg/L
On-line opgeloste zuurstof10 μg/L
On-line deeltjes (>0.05 μm)<200 deeltjes/L
Non-Volatile Residu0.1 μg/L
Silica (totaal en opgelost)0.5 μg/L
Metalen/Boor (door ICP/MS) 
22 Meest voorkomende elementen (zie F63-0213 (2) voor details)<0.001-0.01 μg/L
Ionen (door IC) 
7 Belangrijke anionen en ammonium (zie F63-0213 (2) voor details0.05 μg/L
Microbiologisch 
Bacteriën< 1 CFU/100 ML

Hoe verbeter je de wafer opbrengst in de micro-elektronica industrie?

De wafer opbrengst is de meest kritische parameter in de sector. Elke nieuwe technologie vereist een hogere kwaliteit ultrapuur water (UPW) en betere bewakingssystemen. Dit is nodig vanwege de aanwezigheid van "killer"-deeltjes of microverontreiniging in ultrapuur water die fysieke schade aan micro-elektronische componenten kan veroorzaken. Deze schade kan leiden tot kostbare defecten en een afgekeurde productie. Realtime monitoring en controle van kritische parameters helpt zowel UPW-ingenieurs als procesingenieurs om de correlatie tussen onzuiverheden en wafer defecten beter te begrijpen. Zo maken fabrikanten - van met name van FinFet en op nanodraad gebaseerde installaties - de transitie van het beheren van de productkwaliteit naar het beheersen ervan. 

Wat zijn de essentiële behandelingsstappen binnen een PCB-afvalwaterzuiveringsproces?

Elektrolyse wordt doorgaans ingezet om opgelost CU-afvalwater te behandelen, terwijl clarificatie (met bijvoorbeeld Actiflo®) en ionenuitwisseling vaak worden ingezet voor het cheleren van CU-afvalwaterstromen. Voor organisch afvalwater maken procesingenieurs meestal gebruik van een membraanbioreactor (MBR).

Hoe zijn TMAH en ammoniak uit afvalwaterstromen te verwijderen?

TMAH en ammoniak zijn efficiënt te verwijderen door de volgende technologieën te combineren:

Hoe kun je water terugwinnen en recyclen zonder RO-membranen?

Omgekeerde osmose-membranen (RO), die gebruikt worden in processen voor waterrecycling en -hergebruik, verbruiken meestal veel energie. Dit resulteert in een zowel hogere CAPEX als OPEX. Waterrecycling via niet-membraanprocessen is meestal goedkoper en voldoet aan bedrijfsdoelstellingen op het gebied van duurzaamheid en kostenefficiëntie. Veolia's niet-membraanoplossingen - zoals de compacte Actiflo® voorzuiveringsinstallatie, Hydrotech™ Discfilter en servicedeïonisatie - bieden zelfs tot 95% terugwinning, verbruiken extreem weinig energie en vereisen minimale chemicaliën. Dit stelt bedrijven in staat om te besparen op het energie- en chemicaliënverbruik, de noodzaak van 'clean-in-place' of chemisch verbeterde terugspoelingen te verminderen en tegelijkertijd ESG-doelstellingen te behalen.